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ZLS-23型氦质谱检漏仪

ZLS-23型氦质谱检漏仪

此仪器是一种单级180°磁偏转型仪器。结构小巧,便于移动,对机械泵及扩散泵冷却风扇采取了减振措施,离子流的前级放大器使用了DC-4B静电计管.仪器灵敏度高。

(1)性能指标

(2)仪器主要组成(图1)

质谱室:氦离子轨道半径R=10mm,磁场强度H=175kA/m-199kA/m,离子加速电压为100V左右。质谱室内有:阴极、离化室、加速极(引出极)、中间缝隙、抑制栅、收集极、放大器前级静电计管DC-4B及高电阻。

真空系统:前级泵是2X-0.5型机械泵。主泵是抽速为120L/s的风冷三级油扩散泵,泵口设有挡油板,扩散泵的功率用负反馈可控硅控制电路来调节,使加热电流可稳定在±5%之内,从而保证抽速的稳定。系统共有五个阀门:三个电磁阀,两个手动阀。节流阀装在外接法兰与质谱室之间,用来控制质谱室内的工作压力;粗抽阀用于预抽被检件;放气阀用于对机械泵和质谱室放大气;抽速阀用于调节主泵对质谱室的抽速,它与冷阱配合可使仪器的灵敏度进人10-1OPa.L/s数量级,此阀还可以使质谱室与扩散泵隔离,以便在不停扩散泵的情况下对质谱室进行检修。此外,因扩散泵开始加热和停止加热的20min内反油率较大,关闭此阀可减少油蒸气对质谱室的污染;前置阀可使机械泵与扩散泵隔离;在前置阀与扩散泵之间有一个容积为1.25L的贮气罐,用于稳定扩散泵的前级压力。当前置阀关闭后,扩散泵可以继续工作20min。高真空部分有一个容量为1L的液氮冷阱,加人液氮可缩短系统的抽气时间,以及防

止由被检件产生的水蒸气、油蒸气及其它污物对质谱室的污染。冷阱加人液氮后,可关小抽速阀,减少仪器的本底和噪声,提高仪器的灵敏度。真空系统高真空部分的真空度用潘宁规测量,前级压力用热阻规测量。

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